無氧烤箱光刻膠晶圓烘箱_上海和呈儀器制造有(yǒu)限公(gōng)司

一．概述：
無氧烤箱晶圓封裝(zhuāng)無氧箱，無氧化烘箱，在工(gōng)作(zuò)時，工(gōng)作(zuò)室内充滿了惰性氣體(tǐ)CO2,N2,防止材料在烘烤時被氧化。無氧化烘箱在工(gōng)業中(zhōng)的用(yòng)途：IC包裝(zhuāng)，LCD,晶體(tǐ)管，傳感器，二極管，石英晶體(tǐ)振蕩器，混合集成電(diàn)路闆……

二．産(chǎn)品技(jì )術參數
1.名(míng)稱及型号：雙工(gōng)作(zuò)腔無氧烤箱 AO-2DSL FCNET（支持 ONET-240 網絡聯機功能(néng)）
2、主要技(jì )術指标：
2.1工(gōng)作(zuò)尺寸：W1000*D500*H610*2 mm
2.2電(diàn)源：380V 3φ 50HZ 18KVA
2.3含氧量控制要<= 100PPM。
2.4溫度範圍： RT（室溫）+60～ +300℃；
2.5溫度均勻度：±1.5%;
2.6升溫速率：室溫～250℃，45分(fēn)鍾(空箱測試)。（客戶工(gōng)藝高溫度300℃）
2.7風冷降溫：100 分(fēn)鍾内降溫可(kě)從250℃達到 70℃

3、箱體(tǐ)結構：
3.1烘箱由箱體(tǐ)部分(fēn)、電(diàn)器控制櫃部分(fēn)、電(diàn)加熱及風道系統部分(fēn)組裝(zhuāng)而成，結構合理(lǐ)，外觀美觀大方；
3.2全周氩焊，耐高溫矽膠迫緊，SUS304＃不鏽鋼電(diàn)熱産(chǎn)生器，防機台本身産(chǎn)生微塵；
3.3箱體(tǐ)材料：外箱采用(yòng) SS41# 中(zhōng)碳鋼闆經磷酸皮膜鹽處理(lǐ)後兩層防光面塗裝(zhuāng)烤漆，可(kě)防止微塵；
3.4内膽材料：采用(yòng)進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不鏽鋼闆，并經堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時産(chǎn)生 PARTICLE；
3.5中(zhōng)桶材料：采用(yòng)進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不鏽鋼闆，并經堿性蘇打水清潔，去油污及氩焊密封加工(gōng)(防污染)。
3.6保溫材料：矽酸鋁棉；
3.7夾層降溫：夾層風冷降溫

4、溫控系統
4.1控制器采用(yòng)二合一PLC觸摸屏控制兩個腔體(tǐ)獨立運行，随時切換。
4.2溫度測量：采用(yòng)特制锴裝(zhuāng)鉑電(diàn)阻；
4.3氮氣控制系統：有(yǒu)雙流量計的智能(néng)控制氮氣系統。
5、完善的安(ān)全保護措施：漏電(diàn)斷路器//超溫保護//欠相保護//馬達過載電(diàn)流保護//機台異常蜂鳴器警示

無氧烤箱光刻膠晶圓烘箱